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探针台的分类可从多个维度进行划分,具体如下:
一、按操作方式分类
手动探针台:晶圆载物台、显微镜及定位器需人工操作。
半自动探针台:部分功能自动化,减少人工干预。
全自动探针台:自动化程度高,适用于gao效率、gao精度测试需求。
二、按测试样品分类
晶圆测试探针台:专用于半导体晶圆的性能测试。
LED/功率器件/MEMS测试探针台:分别对应LED器件、功率半导体及微机电系统的测试。
PCB/液晶面板/太阳能电池片测试探针台:适用于印刷电路板、显示屏及光伏器件的检测。
材料表面电阻率/纳米器件测试探针台:针对材料表面电学特性及纳米级器件的分析。
三、按应用及测试环境分类
高频/射频/微波测试探针台:用于高频信号场景下的测试。
高/低温环境测试探针台:支持ji端温度(如超低温真空环境)下的器件性能评估。
低电流(fA级)/高压/大电流测试探针台:满足微弱电流或高压大电流的测试需求。
磁场/特殊气体环境测试探针台:适用于磁场或特定气体环境中的器件分析。
四、按功能组件分类
显微镜类型:包括体视显微镜、金相显微镜等,用于精密操作观察。
承载平台:含样品台、定位器平台等,适配不同尺寸晶圆(2~12英寸)及控温需求。
移动组件:提供X/Y/Z轴及旋转(R/T)方向的精密定位功能。
五、按产品级别分类
简易型:基础功能,适用于简单测试场景。
标准型/分析型:满足常规实验室或研发需求。
gao端型:集成高精度传感器及复杂环境模拟功能。
六、其他特殊分类
非标准结构测试探针台:针对特殊器件或非标测试需求定制。
直流/交流探针台:分别侧重直流电性能(如电压、电阻)或交流信号(如频率、相位)测试。
以上分类综合了探针台的操作模式、测试对象、环境适配及功能设计等核心要素,不同类别适用于半导体、光电、集成电路等领域的多样化测试需求。
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