功能描述：

快速实现室温-350℃环境的控温，可在真空环境下对样品进行光学，电学测试，测试中也可实现惰性气体的快速充放。根据样品材料，形状不同可选择探针，插拔等多种安装测试方式。

技术参数：

1· 温度范围：室温-350℃；

2· 控温精度：0.5-1K，和样品台的水冷回路水温稳定性相关，尽量做到zui低。

3· 样品台尺寸：51mm

4· 标准K型热电偶

5· 真空度：10E-3Pa；

6· 提供真空抽口*1、气体入口*1、真空释放口*1；

7· 匹配观察窗：1

8· 匹配探针臂：2；探针臂移动精度：10μm；针尖：1μm；探针移动范围：±12.5mm；

9· 另留2个探针臂接口备用；

10.样品台水冷回路；

11.探针臂接口：真空型3同轴接口，所有电学线路采用屏蔽设计，测试精度：pA

12· 样品：51mm  最小1mm  最小电极100um

13· 4升真空，1台 ，显微镜1台

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