在真空科学与技术中，“真空”词被理解为低于一个标准大气压的气体状态。这种状态同正常的大气状态相比较，气体较为稀薄，即单位体积内的分子数目较少，分子之间或分子与其它粒子（如电子、离子）之间的碰撞几率减少，分子在单位时间内碰撞于单位表面积（如器壁）上的次数也相对减少。这些是“真空”的主要特性。真空常用帕斯卡（Pa）或托尔（Torr）作为压力的单位（1 Torr = 133.3 Pa）。在自然环境里，只有外太空堪称最接近真空的空间。

1. 标准大气压

在重力加速度为980.665cm/s2，水银温度为0℃，密度为13.5951g/cm3的条件下，760mm高的汞柱产生的压力，称为标准大气压。一个标准大气压的值为：

2. 真空度

表示真空状态下气体的稀薄程度，通常用压力值来表示。

3. 真空区域划分

低真空：1E5Pa～1E2Pa

中真空：1E2Pa～1E-1Pa

高真空：1E-1Pa～1E-5Pa

超高真空：1E-5Pa～1E-9Pa

极高真空：低于1E-9Pa

4. 全压力

混合气体中所有组分压力的总和。

5. 分压力

混合气体中某一组分的压力。

6. 平均自由程

一个分子与其它气体分子每连续两次碰撞之间的平均路程，叫平均自由程。平均自由程与压力、温度及分子直径等因素有关。对于室温下的空气，平均自由程近似值由下式给出：

式中λ —平均自由程，m；p —气体压力，Pa。

7. 粘滞流

气体分子的平均自由程远小于导管最小截面尺寸的流态。因此，流动取决于气体的粘滞性，粘滞流可以是层流或滞流。

8. 分子流

气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态。

9. 中间流

在粘滞流和分子流之间状态下气体通过导管的流动。

10. 流量

在给定时间间隔内通过某一截面的气体量除以该时间。

11. 吸附

固体或液体对气体或蒸气的捕集现象。

12. 解吸

被材料吸附的气体或蒸气的释放现象。

13. 去气

气体从材料中人为的解吸。

14. 放气

气体从材料中自然的解吸。

15. 渗透

气体通过固体阻挡层的现象。

注：只列出常用真空技术术语，如果需要其它术语的解释，请查阅真空标准GB/T3163-2007。

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